不锈钢垫片的蚀刻加工工艺

　　不锈钢垫片因其优异的耐腐蚀性、高强度和宽温域稳定性，被广泛用于化工、船舶、食品机械等行业。相较于普通冲压垫片，蚀刻不锈钢垫片可实现更复杂的内孔阵列、异形轮廓及微米级精度，且无毛刺、无硬化层。

　　材料通常选用304、316L或430不锈钢带材，厚度0.1–2.0mm。来料需经平整矫直，消除内应力，防止蚀刻过程中翘曲。

　　前处理包括：碱性除油→热水洗→酸洗活化（常用10%H₂SO₄）→纯水冲洗→热风干燥。此过程确保表面无氧化膜、油脂，提高光刻胶附着力。

　　涂胶阶段多采用干膜贴合工艺，因其操作简便、分辨率高（可达±0.02mm）。对于大批量生产，也可使用液态光刻胶辊涂，成本更低但需严格控厚。

　　曝光使用步进式或接触式光刻机。掩膜版材质为石英或镀铬玻璃，图形精度达1μm。显影后，裸露金属区域即为待蚀刻部位。

　　蚀刻液选择至关重要。304/316不锈钢常用三氯化铁（FeCl₃）体系，浓度38–42°Bé，温度45±2℃。为提升侧蚀控制，可添加缓蚀剂或改用氯化铜再生蚀刻系统。喷淋压力控制在0.2–0.3MPa，避免薄材抖动。

　　蚀刻终点通过电导率或时间-速率曲线自动判断。完成后，经NaOH溶液去膜、柠檬酸中和、DI水超声清洗，彻底去除氯离子残留，防止点蚀。

　　检验项目包括：外形尺寸（CMM测量）、孔位精度、表面粗糙度（Ra≤0.8μm）、耐盐雾性能（≥500小时）。部分客户还要求进行晶间腐蚀测试。

　　不锈钢垫片蚀刻工艺不仅满足高洁净度要求（如半导体设备），还能实现传统工艺无法加工的蜂窝状、螺旋槽等结构，显著提升密封或缓冲性能。